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          微型真空探針臺

          簡要描述:微型真空探針臺設計有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達<5Pa分子泵可達<-3Pa。真空信號連接處使用高級真空電極信號接頭,保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面,探針尖處由3軸可移動探針手動調節移動至被測試器件的引腳處,外部信號線連接測試儀器來測試電學信號。

          • 產品型號:10μm探針臺
          • 廠商性質:生產廠家
          • 更新時間:2023-11-27
          • 訪  問  量:2314
          詳細介紹
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          一、應用領域:東北供應微型真空探針臺主要用于氣體敏感材料或其他對環境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內部裝有不銹鋼加熱承載臺,臺面為φ30,臺面可升溫到400℃。臺面四周裝有微型3軸可移動鎢鋼探針,特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試。


          二、作用原理:有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達<5Pa分子泵可達<-3Pa。真空信號連接處使用高級真空電極信號接頭,保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面,探針尖處由3軸可移動探針手動調節移動至被測試器件的引腳處,外部信號線連接測試儀器來測試電學信號。


          三、微型真空探針臺技術參數:

          溫控器

          加熱溫度

          35-400℃

          注意:熱臺溫度和樣品溫度存在偏差 客戶可用PT100熱電阻貼在和樣品接近的樣品臺面測量熱電阻值對應分度值做校準。

          溫控誤差

          ±1℃

          熱電偶類型

          PT100高精度傳感器

          溫控表

          宇電PID溫控器

          程序控溫

          1段(可選30段程序控溫表)

          加熱功率

          ≤300W

          加熱電源

          AC220v

          尺寸

          230x230x125MM

          重量

          6kg

          真空探針熱臺

          腔體材質

          304不銹鋼

          加工方式

          一體式CNC精加工

          內腔體尺寸

          137X57X21mm  容積165ML

          加熱臺尺寸

          Φ35mm

          觀察窗內徑

          Φ45mm

          觀察窗材質

          高透光石英玻璃

          信號輸出頭

          SMA母頭   配線 SMA轉BNC  1.5米

          電學性能

          絕緣電阻 ≥4000MΩ   介質耐壓 ≤500V

          抽氣口

          KF16

          進氣口

          6MM卡套

          使用正壓

          ≤O.05MPa

          使用負壓

          機械泵可獲得真空≤10Pa  分子泵可獲得真空≤10 -3 Pa

          可擴展配件

          氣體液體注射口

          4芯電信號接頭

          8芯電信號接頭

          SMA905 光纖接口

          擴展5KV高壓電極

          升級30段控溫儀表

          移動探針

          探針規格

          探針粗Φ0.5mm    探針尖 10μm

          上下移動距離

          2.5mm

          前后移動距離

          ±10mm

          左右旋轉距離

          120°





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